Tipo de técnica: Não destrutiva quando for possível trabalhar-se directamente sobre o objecto sem nenhum tipo de preparação preliminar, destrutiva quando se tenha que proceder à preparação de uma microamostra extraída do objecto a ser analisado.
Utilização: Estudo e caracterização físico-química de estruturas possuidoras de dimensões inferiores à observáveis a olho nu ou por microscópio óptico, a para análises elementares qualitativas e quantitativas.